主要的服務內容

在工程項目實施接近尾聲,開始進入設備和系統的調試階段前,上海至純將根據實際情況派出有經驗的工程師到達現場,主要完成以下工作:

配套國內28納米工藝節點集成電路制造廠商,為用戶提供高純大宗氣體整廠供應;

采用高可靠性、經濟性的氣體供應解決方案,設計、建造并運營大宗氣站,主要包括現場制氣裝置(現場生產高純氮氣/液氮、高純液氧、壓縮空氣)、供氣管道系統、壓力調節系統、流量計量系統、純化過濾系統、在線質量分析系統等。


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